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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD/PECVD應(yīng)用案例

日期:2022-11-07

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CVD應(yīng)用——MoS2的原位氧取代摻雜和相變調(diào)控

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CVD應(yīng)用——二/四英寸連續(xù)單層MoS2 的取向外延生長(zhǎng)

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