在掃描電鏡（SEM）中，電荷積累和圖像失真是常見(jiàn)的問(wèn)題。下面是一些處理樣品的方法，以避免電荷積累和圖像失真：

樣品制備：

樣品應(yīng)盡可能干燥，避免含有水分。水分會(huì)導(dǎo)致電子束發(fā)生散射并引起電荷積累。

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，可以使用導(dǎo)電涂層（如金或碳）覆蓋樣品表面，以提高導(dǎo)電性并減少電荷積累。

適當(dāng)?shù)恼婵諚l件：

確保SEM處于適當(dāng)?shù)恼婵諚l件下工作，以減少電子束與氣體分子的相互作用。

使用真空泵和減壓系統(tǒng)來(lái)維持恰當(dāng)?shù)恼婵账健?/span>

優(yōu)化掃描參數(shù)：

選擇合適的加速電壓和探針電流，以避免電子束過(guò)強(qiáng)或過(guò)弱，從而減少電荷積累。

調(diào)整掃描速度和圖像積分時(shí)間，以避免過(guò)長(zhǎng)的掃描時(shí)間造成電荷積累。

動(dòng)態(tài)掃描模式：

使用動(dòng)態(tài)掃描模式（如線性掃描或隨機(jī)掃描）而非靜態(tài)掃描模式，可以減少電荷積累的影響。

動(dòng)態(tài)掃描模式在每個(gè)像素位置上停留的時(shí)間較短，減少了電子束在樣品表面停留的時(shí)間，從而減少電荷積累。

降低電子束能量：

對(duì)于某些樣品，尤其是具有低導(dǎo)電性或易受損的樣品，可以降低電子束的能量。較低的能量會(huì)減少電子束的穿透能力，降低電荷積累和圖像失真的風(fēng)險(xiǎn)。

清潔樣品表面：

在樣品放入SEM前，確保樣品表面清潔，無(wú)塵、無(wú)油和無(wú)雜質(zhì)。盡量避免使用粘性膠帶等粘附物。

優(yōu)化圖像采集：

在采集圖像時(shí)，使用適當(dāng)?shù)膱D像參數(shù)，如對(duì)比度、亮度和增益，以獲得清晰的圖像并降低圖像失真。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

以上就是澤攸科技小編分享的如何處理掃描電鏡樣品以避免電荷積累和圖像失真。更多掃描電鏡信息及價(jià)格請(qǐng)咨詢