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掃描電鏡如何消除樣品表面電荷的影響?

日期:2023-08-21

在掃描電鏡中,樣品表面電荷的積累可能會導(dǎo)致圖像的產(chǎn)生模糊、形變或噪聲等問題。為了消除樣品表面電荷的影響,可以采取以下一些方法:

導(dǎo)電涂層:為了提供一個導(dǎo)電的表面,可以在樣品上涂覆一層薄的導(dǎo)電涂層,如金屬薄膜(常用的是金、鉑、碳等)。這有助于將表面電荷引導(dǎo)到地,減少電荷積累。

真空處理:在一些情況下,將樣品放入真空室中進(jìn)行觀察可以減少表面電荷的影響。真空環(huán)境中的氣體少,電荷難以積累。

低電壓掃描:使用較低的電子束加速電壓可以減少電子束與樣品表面發(fā)生的碰撞,從而減少電荷積累的可能性。

使用電子束漂移校正:現(xiàn)代的SEM設(shè)備通常配備了電子束漂移校正功能。這種功能可以在掃描過程中自動地將電子束定向到表面的不同區(qū)域,以平衡表面電荷。

地線連接:將樣品與地線連接可以幫助釋放表面電荷。這通常通過將樣品夾持到具有接地電極的支架上來實現(xiàn)。

離子束中和:使用離子束在樣品表面掃描,可以中和表面的電荷積累。然而,這可能會對樣品造成損傷,因此需要謹(jǐn)慎使用。

防靜電探測器:部分SEM設(shè)備配備了防靜電探測器,用于監(jiān)測和補(bǔ)償表面電荷,從而減少電荷積累對圖像質(zhì)量的影響。

在選擇消除表面電荷的方法時,需要根據(jù)樣品類型、儀器配置和實驗要求來進(jìn)行判斷。無論采取哪種方法,目標(biāo)是在獲取高質(zhì)量圖像的同時,減少或消除表面電荷帶來的影響。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何消除樣品表面電荷的影響。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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