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臺式掃描電鏡的樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能如何影響成像結(jié)果?

日期:2023-08-28

臺式掃描電子顯微鏡(SEM)通常具有樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能,這些功能可以對成像結(jié)果產(chǎn)生影響。下面是關(guān)于這些功能如何影響成像結(jié)果的一些信息:

樣品旋轉(zhuǎn)功能:

多角度觀察: 樣品旋轉(zhuǎn)功能允許你從不同的角度觀察樣品表面。通過觀察樣品的不同側(cè)面,可以獲取更全的信息,揭示樣品的三維形貌。

圖像對比: 旋轉(zhuǎn)樣品可以幫助你獲取不同角度下的圖像,從而使得對比更加明顯。特別是在表面有微小結(jié)構(gòu)或特征時,從不同角度觀察可以揭示更多細節(jié)。

深度信息: 樣品旋轉(zhuǎn)可以提供關(guān)于表面高度、凹凸等結(jié)構(gòu)的深度信息。在分析微小的拓撲特征時,旋轉(zhuǎn)功能可以增加數(shù)據(jù)的可靠性。

樣品傾斜功能:

透視效果: 樣品傾斜可以賦予圖像以透視效果,從而使得樣品表面的三維結(jié)構(gòu)更加清晰可見。

視野變大: 傾斜樣品可以使得局部細節(jié)更容易被觀察,尤其是對于突出的特征或結(jié)構(gòu)。

避免充電效應: 傾斜樣品可以改變電子束的入射角度,從而有助于減輕充電效應,提高成像質(zhì)量。

需要注意的是,樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能可能會對成像過程中的操作和參數(shù)設(shè)置產(chǎn)生一些影響:

深度對焦: 在使用樣品旋轉(zhuǎn)和傾斜功能時,需要注意調(diào)整深度對焦,以確保觀察到的圖像在整個深度范圍內(nèi)都清晰可見。

信號強度: 樣品傾斜和旋轉(zhuǎn)可能會影響電子束與樣品之間的距離,從而影響信號的強度。需要適當調(diào)整電子束參數(shù)。

圖像處理: 在分析旋轉(zhuǎn)或傾斜圖像時,可能需要進行額外的圖像處理,如去除透視畸變、校正尺寸等。

ZEM20臺式掃描電鏡

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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