掃描電鏡樣品表面的 "熱偽影" 現(xiàn)象通常是由于電子束的高能量導(dǎo)致的。這種現(xiàn)象可能會(huì)導(dǎo)致樣品局部升溫，影響成像和分析結(jié)果。以下是一些避免或減輕熱偽影的方法：

低電子束能量：降低電子束的能量，特別是在高分辨率成像之前。降低電子束能量可以減少熱偽影的潛在影響。

低電子束流密度：減小電子束的流密度，即每單位面積的電子束束流。這可以通過(guò)調(diào)整電子束的亮度或束團(tuán)大小來(lái)實(shí)現(xiàn)。

快速掃描模式：使用快速掃描模式可以減少電子束停留在樣品表面的時(shí)間，從而減小熱偽影的可能性。

預(yù)冷樣品：在進(jìn)行高倍率掃描之前，可以將樣品冷卻到低溫，以減少樣品加熱。

使用低溫樣品臺(tái)：一些掃描電鏡配備了低溫樣品臺(tái)，可以在成像時(shí)保持樣品低溫，從而減輕熱偽影。

樣品制備：在進(jìn)行掃描電鏡成像前，確保樣品的制備質(zhì)量，避免過(guò)大的不均勻區(qū)域或凹陷，以減少電子束的局部能量損耗。

實(shí)驗(yàn)參數(shù)優(yōu)化：根據(jù)特定的樣品和實(shí)驗(yàn)需求，優(yōu)化掃描電鏡的參數(shù)，以找到高質(zhì)量的成像條件。

熱偽影是一個(gè)需要仔細(xì)處理的問(wèn)題，因?yàn)樗赡軙?huì)導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降和分析誤差。通過(guò)合理選擇實(shí)驗(yàn)參數(shù)和采取適當(dāng)?shù)念A(yù)防措施，可以減小熱偽影的影響。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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