如果在用掃描電鏡（SEM）時發(fā)現(xiàn)圖像有噪點或“發(fā)虛”，大致可以從以下幾個方向排查并改進：

一、圖像有很多噪點（畫面顆粒感強）

這是信噪比低的表現(xiàn)，原因可能有：

掃描太快了，電子束在每個像素停留的時間太短，信號不夠穩(wěn)定；

束流太低，產(chǎn)生的二次電子信號太少；

沒有進行多幀平均（Frame Averaging）；

樣品導(dǎo)電性差，出現(xiàn)電子聚集現(xiàn)象（充電效應(yīng)）；

解決辦法：

降低掃描速度，讓電子束在每個像素上多停一會；

稍微提高束流強度，讓信號更強一點（但不要太高，避免燒樣）；

打開 Frame Averaging 功能，多幀疊加可顯著減少隨機噪聲；

樣品如果不導(dǎo)電，可以考慮噴金、噴碳，或者加導(dǎo)電膠提升導(dǎo)電性。

二、圖像發(fā)虛（細節(jié)模糊、邊緣不清楚）

這通常和對焦不準或系統(tǒng)像差有關(guān)，也可能是樣品漂移造成的。

原因可能包括：

聚焦沒有調(diào)好；

像差校正沒做；

樣品高度不合適，工作距離設(shè)置錯誤；

樣品受熱漂移、震動或不穩(wěn)定；

解決辦法：

手動調(diào)焦時要慢慢來，先粗調(diào)，再細調(diào)；

使用 Stigmator 功能校正像差，尤其在高放大倍率下；

調(diào)整樣品高度，讓工作距離保持在建議范圍內(nèi)（比如 8mm 左右）；

樣品裝好后靜置幾分鐘，讓它溫度和位置都穩(wěn)定，再拍照；

如果樣品不穩(wěn)，建議用更強的膠固定或者減少外界干擾。

其他建議：

對焦和校正在稍低倍率下進行，再放大去拍高分辨圖；

拍圖時切換到“慢速掃描”或“積分模式”獲取高質(zhì)量的效果；

如果是非導(dǎo)電材料，電壓不宜太高，建議用 3～5 kV，減少充電；

圖像虛或漂移嚴重時，試著減小放大倍率排查是否是樣品問題。