在目前微觀形貌的分析研究中，隨著半導體器件等高新技術的發(fā)展，往往要求對表面的細微結(jié)構能夠更深入地觀察和了解，因此發(fā)展高分辨力的電鏡一直是生產(chǎn)廠商和用戶們所追求的共同目標。要獲得一張清晰、高分辨的照片，不僅要有一臺性能優(yōu)越的高分辨力掃描電子顯微鏡，而且還取決于試樣自身的特征和操作人員的工作經(jīng)驗，即要考慮以下幾種因素：

（1）入射電子束的束流密度要足夠大，而且穩(wěn)定→電子源的發(fā)射問題。

（2）入射電子束的束斑是否足夠細、足夠旋轉(zhuǎn)對稱（圓），涉及電子透鏡的設計、加工和裝配水平，以及鏡筒受污染的影響程度等→探針的形成問題。

（3）二次電子的檢測信號和光電轉(zhuǎn)換效率要高→圖像信號的接收和信噪比的問題。

（4）試樣表面的細節(jié)要足夠多和細、組分反差要大→試樣表面的結(jié)構問題。

（5）試樣的導電性要好、二次電子產(chǎn)額要高→試樣的特征和制備問題。

（6）加速電壓和束流的大小、束斑的對中、工作距離和圖像的襯度調(diào)節(jié)等電鏡參數(shù)的選擇要合理→操作人員的工作經(jīng)驗、綜合素質(zhì)問題。

（7）供電電壓的波動、地面的振動、周圍的磁場和噪聲等各種干擾都要盡可能小→環(huán)境條件的問題。

在實際工作中以上這幾個要點很難個個具備都能達到理想狀態(tài)，但是作為一個專業(yè)的掃描電鏡應用人員來說，應從多方面入手，綜合考慮，如選好電鏡的安裝環(huán)境，盡自己的職責維護好設備和制備好試樣，這都是操作人員應該做到的事。電鏡參數(shù)的合理選擇和熟練操作，是操作人員經(jīng)過努力學習、不斷積累經(jīng)驗而應能實現(xiàn)的目標。至于掃描電鏡的型號和某些參數(shù)的優(yōu)劣，這超出操作人員的能力范圍，只要操作人員能發(fā)揮出現(xiàn)有電鏡大的潛能，一般都能得到比較好的成像效果。當然，如果能有一臺高亮度、高分辨的掃描電鏡，那將會更理想。

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