掃描電子顯微鏡（是一種常用的高分辨率顯微鏡，通過掃描樣品表面并檢測(cè)從樣品表面反射的電子束來獲得圖像。以下是SEM的一些主要參數(shù)：

加速電壓：加速電壓是指施加在電子束上的電場(chǎng)力，以加速電子束的能量。它通常以千伏（kV）為單位。較高的加速電壓可以提供更高的穿透力和更大的樣品深度。

分辨率：SEM的分辨率是指其能夠區(qū)分兩個(gè)相鄰物體或特征的能力。它取決于電子束的聚焦能力和檢測(cè)系統(tǒng)的性能。SEM通常具有較高的分辨率，可以觀察到亞微米尺度的細(xì)節(jié)。

透射電子檢測(cè)器：SEM使用透射電子檢測(cè)器來檢測(cè)從樣品表面散射的次級(jí)電子。次級(jí)電子的檢測(cè)可以提供有關(guān)樣品表面拓?fù)浜托蚊驳男畔ⅰ?/span>

背散射電子檢測(cè)器：SEM中的背散射電子檢測(cè)器用于檢測(cè)從樣品表面背向散射的高能電子。背散射電子的檢測(cè)可以提供關(guān)于樣品的組成和原子序數(shù)的信息。

樣品舞臺(tái)：樣品舞臺(tái)是放置樣品的平臺(tái)，可以控制樣品的位置、旋轉(zhuǎn)和傾斜。它允許在不同角度和方向下觀察樣品，并進(jìn)行局部分析。

真空系統(tǒng)：SEM中需要維持高真空環(huán)境，以避免電子束與氣體分子相互作用并減少散射。真空系統(tǒng)包括真空室、泵和氣體排放系統(tǒng)。

這些是SEM的一些主要參數(shù)，不同型號(hào)的SEM可能具有其他參數(shù)和功能，以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡有哪些主要參數(shù)。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢