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臺式掃描電鏡分辨率與電子束能量的關系

日期:2024-02-26

臺式掃描電鏡(SEM)的分辨率與電子束能量之間存在密切的關系。通常情況下,SEM的分辨率隨著電子束能量的增加而提高,但也受到一些因素的影響,包括樣品特性、電子束直徑和檢測器性能等。以下是一些關于SEM分辨率和電子束能量關系的主要考慮因素:

電子束直徑:隨著電子束能量的增加,電子束的直徑通常會減小。較小直徑的電子束可以提高圖像的分辨率,因為它們能夠更好地探測樣品表面的微觀結構。

穿透深度:電子束能量較低時,電子穿透樣品表面的能力較弱,這可能導致圖像模糊或者對樣品表面的深層結構無法清晰地觀察到。隨著電子束能量的增加,電子能夠穿透更深的樣品表面,從而提高對樣品內(nèi)部結構的分辨率。

樣品導電性:電子束能量較低時,對于非導電性樣品,容易出現(xiàn)充電效應,導致圖像模糊或者失真。在這種情況下,增加電子束能量可以減少充電效應,提高圖像的清晰度和分辨率。

檢測器性能:一些檢測器在不同電子束能量下的性能表現(xiàn)可能不同。因此,選擇適當?shù)臋z測器對于在不同電子束能量下獲得高質(zhì)量的分辨率至關重要。

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作者:澤攸科技


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