在掃描電子顯微鏡（SEM）中，焦點合成（Focus Stacking）是一種提高圖像景深的方法，特別適用于觀察樣品具有較大高度差的復(fù)雜表面。通過將多張不同焦點的圖像合成為一張全焦點的圖像，焦點合成技術(shù)可以顯著增加圖像的景深，從而讓整個樣品表面都處于清晰焦點內(nèi)。

焦點合成的實現(xiàn)步驟

采集多張不同焦點的圖像

調(diào)整焦點: 在SEM中，逐步調(diào)整樣品的焦距，從近焦點到遠焦點，依次拍攝多張圖像。每張圖像應(yīng)該在不同的焦平面上，以涵蓋樣品表面的所有高度范圍。

保持其他參數(shù)不變: 除了焦距以外，其他成像參數(shù)（如加速電壓、探針電流、掃描速度等）應(yīng)該保持不變，以確保圖像的一致性。

圖像疊加

使用專用軟件: 將這些不同焦點的圖像輸入到焦點合成軟件中進行處理。常見的圖像處理軟件，如Helicon Focus、Photoshop或?qū)ｉT的SEM控制軟件，通常都具有焦點合成功能。

合成全焦點圖像: 軟件會自動分析每張圖像中的清晰部分，并將這些部分疊加合成一張全焦點的圖像。合成后的圖像將顯示出樣品的全景深細節(jié)。

后處理

對比度和亮度調(diào)整: 合成后的圖像可能需要適當調(diào)整對比度和亮度，以確保圖像的細節(jié)和特征充分顯現(xiàn)。

去除偽影: 如果在焦點合成過程中出現(xiàn)了偽影或其他不自然的細節(jié)，可以使用圖像處理工具進行修正。

應(yīng)用場景

焦點合成技術(shù)特別適用于以下幾種應(yīng)用場景：

高差較大的樣品: 樣品表面具有顯著的高度差時（如微結(jié)構(gòu)、顆粒表面、裂紋等），焦點合成能夠幫助觀察樣品的結(jié)構(gòu)。

復(fù)雜表面: 當樣品表面復(fù)雜且需要整個表面都處于清晰焦點內(nèi)時，焦點合成是理想的選擇。

3D表面形貌分析: 焦點合成可以提供樣品的景深圖像，有助于后續(xù)的3D形貌分析。

優(yōu)勢

全景深圖像: 通過焦點合成，用戶可以獲得全景深圖像，清晰顯示樣品的所有細節(jié)。

減少焦距調(diào)整誤差: 自動焦點合成軟件減少了人為調(diào)整焦距帶來的誤差，確保圖像質(zhì)量一致性。

適應(yīng)復(fù)雜樣品: 適合高度差較大、表面復(fù)雜的樣品，幫助科學(xué)家和工程師更好地分析樣品特征。

注意事項

圖像采集精度: 采集圖像時，焦距調(diào)整需要準確，避免焦點范圍過寬或過窄，這樣才能確保合成圖像的質(zhì)量。

樣品穩(wěn)定性: 在采集不同焦點圖像時，樣品應(yīng)保持穩(wěn)定，避免任何移動，以免影響圖像對齊和合成效果。

偽影處理: 合成后可能會出現(xiàn)由于焦點不一致或圖像疊加不準引起的偽影，需要進行適當?shù)膱D像處理。

以上就是澤攸科技小編分享的如何在掃描電鏡中使用焦點合成提高景深。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢