在掃描電子顯微鏡（SEM）中，背散射電子（BSE）可以用于增強(qiáng)樣品的對比度，尤其是對不同原子序數(shù)的材料區(qū)分更為顯著。以下是如何利用背散射電子增強(qiáng)樣品對比度的主要方法：

1. 選擇背散射電子探測器

使用BSE探測器：在SEM中，背散射電子探測器專門用于收集背散射電子信號。相較于二次電子，背散射電子主要是來自較重的原子核附近，因此能夠提供基于材料成分的對比度。

位置和幾何配置：確保背散射電子探測器正確放置，通常靠近樣品表面以最大化信號收集效率。

2. 調(diào)整電子束加速電壓

高加速電壓：背散射電子的生成與入射電子的能量有關(guān)。較高的加速電壓能夠使更多的電子產(chǎn)生背散射，這會增強(qiáng)不同材料的對比效果，尤其在樣品內(nèi)部成分的差異較大時。

適當(dāng)控制電壓：避免過高的電壓，可能會導(dǎo)致穿透過深，減弱表面信息。

3. 利用背散射電子的Z對比度

原子序數(shù)對比（Z對比）：背散射電子的強(qiáng)度與樣品中原子序數(shù)的高低成正比。高原子序數(shù)區(qū)域（如金屬）產(chǎn)生更多的背散射電子，因此在圖像中顯示為亮區(qū)，而低原子序數(shù)區(qū)域（如輕元素材料）顯示為暗區(qū)。

材料對比：利用這種Z對比度，可以區(qū)分樣品中不同材料或化學(xué)成分的分布，尤其是復(fù)雜合金或多相材料。

4. 優(yōu)化探測器設(shè)置

信號濾波：有些SEM系統(tǒng)允許對BSE探測器信號進(jìn)行一定的濾波或增益調(diào)節(jié)，以增強(qiáng)對比度和降低噪聲。

多個探測器組合：在一些SEM系統(tǒng)中，可以同時使用多個背散射電子探測器，針對不同角度采集信號，并結(jié)合這些信號增強(qiáng)圖像對比度。

5. 結(jié)合二次電子與背散射電子

綜合成像：在一些成像應(yīng)用中，可以同時采集二次電子（SE）圖像和背散射電子（BSE）圖像，將兩者進(jìn)行對比以得到更豐富的樣品表面形貌信息與成分對比度。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中如何使用背散射電子增強(qiáng)樣品對比度。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢