選擇合適的掃描電鏡（SEM）加速電壓 和 束流強(qiáng)度 是確保高質(zhì)量圖像的關(guān)鍵因素，特別是當(dāng)需要進(jìn)行不同類型的樣品觀察時(shí)。加速電壓和束流強(qiáng)度直接影響圖像的分辨率、對(duì)比度、深度、信噪比等。不同的樣品和實(shí)驗(yàn)需求可能需要不同的加速電壓和束流強(qiáng)度配置。以下是選擇這些參數(shù)時(shí)需要考慮的幾個(gè)因素以及如何根據(jù)需求進(jìn)行調(diào)整。

1. 加速電壓（Accelerating Voltage）

加速電壓決定了電子束的能量，它影響到樣品表面和內(nèi)部的電子與物質(zhì)的相互作用。選擇合適的加速電壓非常重要，因?yàn)樗粌H影響圖像的分辨率，還影響成像深度、對(duì)比度和樣品的輻射損傷。

影響因素：

分辨率：加速電壓越高，電子束的波長(zhǎng)越短，理論上能提供更高的分辨率。但是，較高的加速電壓也可能導(dǎo)致電子束穿透樣品過(guò)深，影響表面細(xì)節(jié)的顯示。

樣品表面 vs 內(nèi)部成像：較低的加速電壓（如 1–5 kV）主要用于表面成像，減少穿透深度，顯示更多的表面特征。較高的加速電壓（如 15–30 kV）則有更強(qiáng)的穿透能力，適合觀察樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

樣品類型：不同的樣品對(duì)加速電壓的響應(yīng)不同。較軟或容易受損的樣品，如生物樣品或聚合物，通常適合較低的加速電壓，以減少樣品的輻射損傷。對(duì)于金屬、礦物等硬質(zhì)樣品，可以使用較高的加速電壓以獲得更高的分辨率。

樣品導(dǎo)電性：導(dǎo)電樣品（如金屬）通常可以使用較高的加速電壓而不會(huì)產(chǎn)生明顯的充電效應(yīng)。而非導(dǎo)電樣品（如絕緣體）在較高電壓下容易產(chǎn)生電荷積累，因此需要使用較低的電壓或采取表面涂層處理。

選擇建議：

低加速電壓（1–5 kV）：適用于表面成像，尤其是對(duì)細(xì)節(jié)的觀察，以及減少樣品損傷。常用于生物樣品、聚合物、涂層和其他易受損材料。

中等加速電壓（5–15 kV）：適合一般的樣品，如半導(dǎo)體、金屬、礦物等，能夠平衡分辨率和樣品穿透。

高加速電壓（15–30 kV）：適用于硬質(zhì)樣品或需要深入樣品內(nèi)部的成像，適用于金屬、合金、礦石等，能夠獲得較高的穿透深度和良好的信號(hào)。

2. 束流強(qiáng)度（Beam Current）

束流強(qiáng)度指的是電子束的電流大小，它影響到圖像的信噪比、曝光時(shí)間和圖像質(zhì)量。較高的束流強(qiáng)度會(huì)產(chǎn)生更強(qiáng)的信號(hào)，但也可能導(dǎo)致樣品過(guò)度輻射和損傷。束流強(qiáng)度通常以 納安培（nA） 為單位。

影響因素：

信號(hào)強(qiáng)度與圖像質(zhì)量：較高的束流強(qiáng)度可以提高電子探測(cè)器的信號(hào)強(qiáng)度，從而提高圖像的亮度和對(duì)比度。對(duì)于較暗的圖像，增加束流強(qiáng)度可以改善信號(hào)質(zhì)量和減少噪聲。

曝光時(shí)間：較高的束流強(qiáng)度允許在較短的曝光時(shí)間內(nèi)獲取更高質(zhì)量的圖像。對(duì)于需要快速成像的情況，適當(dāng)增加束流強(qiáng)度可以減少成像時(shí)間。

樣品損傷：較高的束流強(qiáng)度會(huì)增加樣品的輻射損傷，特別是在長(zhǎng)期觀察或掃描較軟樣品時(shí)。對(duì)于容易受損的樣品，適當(dāng)降低束流強(qiáng)度可以減少熱損傷和輻射影響。

選擇建議：

低束流強(qiáng)度（<1 nA）：適用于較小的樣品，尤其是對(duì)樣品有較高要求的成像，例如生物樣品、脆弱材料等。較低的束流強(qiáng)度有助于減少樣品的輻射損傷。

中等束流強(qiáng)度（1–10 nA）：適用于大多數(shù)常見(jiàn)樣品，能夠提供足夠的信號(hào)強(qiáng)度，同時(shí)避免樣品損傷。

高束流強(qiáng)度（>10 nA）：適用于快速獲取高信號(hào)強(qiáng)度的圖像，如金屬、陶瓷等硬質(zhì)材料。但需要注意，過(guò)高的束流強(qiáng)度可能會(huì)造成樣品損傷。

以上就是澤攸科技小編分享的如何選擇合適的掃描電鏡加速電壓和束流強(qiáng)度。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢