掃描電鏡電源不穩(wěn)時(shí)對(duì)成像會(huì)有什么影響?
日期:2025-04-27
掃描電鏡(SEM)使用時(shí)如果電源不穩(wěn)定,會(huì)對(duì)成像產(chǎn)生一系列直接且顯著的負(fù)面影響,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:
1. 圖像漂移和抖動(dòng)
電源電壓波動(dòng),會(huì)導(dǎo)致電子束的位置發(fā)生微小但連續(xù)的變化,表現(xiàn)為:
圖像整體出現(xiàn)緩慢漂移。
圖像細(xì)節(jié)出現(xiàn)晃動(dòng)、抖動(dòng)現(xiàn)象,尤其在高放大倍率下更明顯。
難以進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間曝光和高分辨率成像。
2. 失焦和分辨率下降
電源不穩(wěn)使電子槍發(fā)射條件變化(比如發(fā)射電流或加速電壓波動(dòng)),造成:
焦點(diǎn)偏移,導(dǎo)致圖像模糊、分辨率明顯降低。
特別是掃描速度慢時(shí),圖像模糊感加重,細(xì)節(jié)變差。
3. 亮度和對(duì)比度不穩(wěn)定
加速電壓或探測(cè)器供電波動(dòng),會(huì)引起:
圖像亮度忽明忽暗。
對(duì)比度變化,局部區(qū)域發(fā)白或發(fā)黑,影響觀察質(zhì)量。
難以得到統(tǒng)一穩(wěn)定的圖像輸出。
4. 出現(xiàn)條紋、噪點(diǎn)和偽影
電源噪聲(特別是交流紋波)疊加在電子束或信號(hào)鏈上,造成:
圖像上出現(xiàn)周期性條紋或噪點(diǎn)。
形成鬼影、重復(fù)影像等偽影。
在低電壓、大視場(chǎng)拍攝時(shí)更容易暴露這些問(wèn)題。
5. 設(shè)備保護(hù)機(jī)制觸發(fā)
如果電源波動(dòng)過(guò)大或瞬間掉電,SEM本身的保護(hù)機(jī)制可能動(dòng)作,導(dǎo)致:
電子槍自動(dòng)關(guān)斷以保護(hù)發(fā)射源(特別是場(chǎng)發(fā)射槍FEG系統(tǒng))。
樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)中斷或系統(tǒng)自動(dòng)停機(jī)。
部分老舊機(jī)型甚至可能燒毀電源模塊或高壓部分。
作者:澤攸科技